一、10⁻³ Pa 是什麽概念？
家用吸（xī）塵器約 10⁴ Pa，燈泡的“真空”約 10⁻¹ Pa。10⁻³ Pa（1×10⁻⁵ mbar）已屬“中真空”與“高真空”交界區，氣體分子已非常稀薄，任何微小滲漏（lòu）都會被放大。此時，密封副的選（xuǎn）擇不僅看“不漏”，更要看“漏得有多慢”。
二、密封（fēng）副的漏率單位
真空行業用 mbar·L/s 或 Pa·m³/s 衡量漏率。10⁻³ Pa 級係統通常要求總漏率 ≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s（≈1×10⁻¹¹ mbar·L/s）。一個指（zhǐ）甲蓋大小的氟橡膠 O 圈，理論滲透量就可（kě）能接近這一量級。
三、氟橡膠（FKM/Viton）的“透不過氣”
滲（shèn）透機理：氣體溶解在橡膠→擴散→逸出。橡（xiàng）膠鏈段（duàn）越柔軟，擴散越快。
數據：在 25 ℃、10⁻³ Pa 條件下，Φ2 mm 線徑 FKM O 圈對 He 的（de）滲透（tòu）漏率約 3×10⁻¹⁰ Pa·m³/s，一（yī）個法蘭用兩個 O 圈就逼近係統上限。
溫度效應：80 ℃ 時滲透率翻倍；120 ℃ 時增至 4～5 倍。
結論：靜態、常溫、可定期維護的 10⁻³ Pa 設備可用氟橡膠，但餘量很小；若（ruò）需烘烤 (>100 ℃) 或追求 10⁻⁴ Pa 以上，則力不從心。
四、金屬密封的“零泄漏”
金屬密封分鋁絲、無氧銅、Helicoflex 等，核心是“塑性變形—冷焊”。
密封比壓：銅墊片需 200–300 MPa，法蘭螺栓須高強度不鏽鋼。
漏率：經氦質譜檢漏，合格（gé）金屬密封可（kě） <1×10⁻¹¹ Pa·m³/s，比氟橡膠低 2～3 個量級。
溫度：銅墊可耐 450 ℃ 反（fǎn）複烘烤，適合（hé）超高真空（kōng）。
缺點：一次性、拆裝需更換墊片；加工精度、螺栓（shuān）力矩需嚴格控（kòng）製（zhì）。
五（wǔ）、場景化決策樹
非烘烤（kǎo）、常溫、維（wéi）護便利（真空鍍膜機腔門）→ 氟橡（xiàng）膠（jiāo） O 圈 ＋ 雙（shuāng）道密封，成本最低。
有 150 ℃ 烘烤、長壽命（半導體刻蝕腔）→ 金屬墊片（piàn）優先。
既要拆又（yòu）要省 → 可選“金（jīn）屬彈簧蓄能 C 形環”或“鋁合金絲密（mì）封”，可重複（fù） 5–10 次。
運動軸封 → 波紋管（guǎn）或磁流體密封（fēng），與靜密封材料選擇無關。
六、實操提示（shì）
• 用氟橡膠（jiāo）時給 20 % 壓縮率，表麵 Ra≤0.8 μm，安裝（zhuāng）前（qián）酒精擦拭、真空（kōng）幹燥 2 h。
• 用銅墊片時螺栓需對角擰緊，力矩誤差 ≤5 %，墊片一次一換。
• 無論哪種材料，先用氦質譜儀“噴槍法”檢漏，確（què）認 <1×10⁻⁹ Pa·m³/s 再抽極限真空。
一句（jù）話總結（jié）
10⁻³ Pa 不是“能不能用橡膠”的臨界點，而是“用橡膠就已經在走鋼絲”。常溫隨手用氟橡膠，高溫或追求極致就選金屬密封，把風險（xiǎn）降一個量級，才是（shì）真正的工程思維。
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